微型真空探針臺是半導(dǎo)體(包括集成電路、分立器件、光電器件、傳感器)行業(yè)重要的檢測裝備之一,其廣泛應(yīng)用于復(fù)雜、高速器件的精密電氣測量,旨在確保質(zhì)量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。通過與測試儀器的配合,探針臺將參數(shù)特性不符合要求的芯片記錄下來,在進(jìn)入后序工序前予以剔除,大大降低器件的制造成本。探針臺主要用于晶圓制造環(huán)節(jié)的晶圓檢測、芯片研發(fā)和故障分析等應(yīng)用。
微型真空探針臺由哪些部分組成?
樣品臺(載物臺):是定位晶圓或芯片的部件設(shè)備。通常會根據(jù)晶圓的尺寸來設(shè)計大小,并配套了相應(yīng)的精密移動定位功能。
光學(xué)元件:這個部件的作用使得用戶能夠從視覺上放大觀察待測物,以便準(zhǔn)確地將探針對準(zhǔn)并放置在待測晶圓/芯片的測量點上。有的采用立體變焦顯微鏡,有的采用數(shù)碼相機,或者兩者兼有。
卡盤:有一個非常平坦的金屬表面,卡盤用夾具來固定待測物,或使用真空來吸附晶圓。
探針(探針卡):待測芯片需要測試探針的連接,才能與測試儀器建立連接。常見的有普通 DC 測試探針、同軸DC測試探針、有源探針和微波探針等。探針頭插入單個探針臂并安裝在操縱器上。探針尺寸和材料取決于被探測特征的尺寸和所需的測量類型。探針尖直接接觸被測件,探針臂應(yīng)與探針尖匹配。
探針夾具及電纜組件:探針夾具用于夾持探針、并將探針連接至測量儀器。電纜組件用于轉(zhuǎn)接、延展探針夾具上的電纜組件。
操縱器(定位器):探針臺使用操縱器將探針放置在被測物上,它可以很容易地定位探針并快速固定它們。通常使用磁鐵或真空把它們固定在適當(dāng)?shù)奈恢?。一旦固定,操縱器可以在X、Y和Z方向上準(zhǔn)確定位探針,并且在某些情況下提供旋轉(zhuǎn)運動。