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真空探針臺測試設備 高低溫測試臺

產品簡介

真空探針臺測試設備 高低溫測試臺探針臂為X/Y/Z三軸移動,三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調節(jié),其中X方向調節(jié)范圍:0-30mm;y方向調節(jié)范圍:0-20mm;z方向調節(jié)范圍:0-20mm;用戶可根據(jù)需要自行調節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行

產品型號:KT-Z1604TZ
更新時間:2024-03-27
廠商性質:生產廠家
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品牌鄭科探

真空探針臺測試設備  高低溫測試臺要應用于傳感器,半導體,光電,集成電路以及封裝的測試。 廣泛應用于復雜、高速器件的精密電氣測量的研發(fā),旨在確保質量及可靠性,并縮減研發(fā)時間和器件制造工藝的成本。


  真空探針臺測試設備  高低溫測試臺的承載臺為60x60不銹鋼臺面,臺面可升溫到高350℃。真空腔體設計有進氣口和抽真空接口。探針臂為X/Y/Z三軸移動,三個方向均可在真空環(huán)境下精密移位調節(jié),其中X方向調節(jié)范圍:030mm;y方向調節(jié)范圍:020mmz方向調節(jié)范圍:020mm;用戶可根據(jù)需要自行調節(jié)。使用時將需檢測的器件固定在加熱臺上,再微調探針支架X/Y/Z 方向行程,通過顯微鏡觀察,使探針對準檢測點后,即可進行檢測


真空腔體

腔體材質

304不銹鋼

上蓋開啟

鉸鏈側開

加熱臺材質

304不銹鋼

內腔體尺寸

φ160x90mm

觀察窗尺寸

Φ70mm

加熱臺尺寸

φ60mm

觀察窗熱臺間距

75mm

加熱臺溫度

35-350

加熱臺溫控誤差

±1

真空度

機械泵≤10Pa   分子泵≤10-3Pa

允許正壓

≤0.1MPa

真空抽氣口

KF25真空法蘭

氣體進氣口

3mm-6mm卡套接頭

電信號接頭

SMA轉BNC X 4

電學性能

絕緣電阻 ≥4000MΩ   介質耐壓 ≤500V

探針數(shù)量

4探針

探針材質

鎢針  

探針尖

10μm

探針移動平臺

X軸移動行程

30mm    ±15mm

X軸控制精度

≤0.01mm

Y軸移動行程

13mm    ±12.5mm

Y軸控制精度

≤0.01mm

Z軸移動行程

13mm    ±12.5mm

Z軸控制精度

≤0.01mm

電子顯微鏡

顯微鏡類別

物鏡

物鏡倍數(shù)

0.7-4.5

工作間距

90mm

相機

sony 高清

像素

1920※1080像素

圖像接口

VGA

LED可調光源


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